單芯片GaN基白光發(fā)光二極管的研究.pdf

1、白光發(fā)光二極管(LED)是近年來發(fā)展迅速的可見光LED，因其具有節(jié)能、高效、壽命長、無污染、瞬時(shí)啟動和快響應(yīng)等優(yōu)點(diǎn)，因此是LED產(chǎn)業(yè)中最被看好的新興產(chǎn)品，廣泛應(yīng)用于各個(gè)領(lǐng)域，將成為21世紀(jì)的新一代光源--第四代固體照明光源。
　　 本文詳細(xì)闡述了LED的發(fā)展、工作原理、國內(nèi)外的研究現(xiàn)狀及應(yīng)用范圍。研究了單芯片GaN基白光LED的材料結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、外延生長、材料性能測試和版圖設(shè)計(jì)。探索出一套適合實(shí)驗(yàn)室工藝條件的芯片制備方案，成功地制備

2、出單芯片GaN基白光LED芯片，并進(jìn)行了器件的特性測試。
　　 本文所做的主要工作有：
　　 1.在對外延技術(shù)進(jìn)行了廣泛研究的基礎(chǔ)上，分析了單芯片GaN基白光LED外延片的材料結(jié)構(gòu)，并對本論文所用的外延片進(jìn)行了相關(guān)的測試和分析。
　　 2.對單芯片GaN基白光LED進(jìn)行了版圖設(shè)計(jì)。
　　 3.在實(shí)驗(yàn)室工藝條件下，研制出單芯片GaN基白光LED芯片。工藝包括：光刻、濕法腐蝕、干法刻蝕、PECVD淀積Si02