軸向磁懸浮軸承位移檢測技術研究.pdf

1、擁有無摩擦、無磨損、無需潤滑、低功耗，無噪聲等優(yōu)點的磁懸浮軸承在如今飛速發(fā)展的今天，其應用與需求是越來越廣。磁懸浮軸承必須根據(jù)軸的懸浮狀態(tài)不斷地調(diào)節(jié)磁場力的大小才能使軸實現(xiàn)穩(wěn)定地懸浮，其關鍵技術之一就是對轉子位移的實時檢測。本文研究用以軸向磁懸浮軸承控制系統(tǒng)系統(tǒng)的位移檢測技術，根據(jù)系統(tǒng)的研制要求，主要對電渦流，電感，電容三種常用的位移檢測方法進行了比較研究。
　　 在分析比較了各種電渦流檢測電路原理的基礎上，設計了調(diào)幅式的位移檢

2、測電路，對激勵信號的頻率、波形進行了實驗分析研究，從提高位移檢測靈敏度的角度考慮，確定了激勵信號的頻率和波形。
　　 設計了差動電容式位移檢測系統(tǒng)。采取印制板技術制作電容極板，并將檢測電路與電極做成一體，直接將位移變化導致的電容變化轉變?yōu)殡娦盘栞敵觯蟠鬁p少了分布電容的干擾，并在結構上采取了屏蔽措施，克服了外界電磁干擾的影響，使系統(tǒng)檢測的可靠性大大提高，并具有比較高的位移檢測靈敏度。
　　 將電渦流和差動電容位移傳感器應