激光晶體自動(dòng)直徑控制（ADC）技術(shù)的研究.pdf

1、本課題的主要研究對(duì)象是激光晶體生長(zhǎng)設(shè)備中的核心技術(shù)—自動(dòng)直徑控制（ADC）技術(shù)。自動(dòng)直徑控制技術(shù)是Czochralski法(簡(jiǎn)稱：Cz法)晶體生長(zhǎng)設(shè)備的一項(xiàng)關(guān)鍵技術(shù)，隨著晶體生長(zhǎng)向優(yōu)質(zhì)大尺寸方向發(fā)展以及坩堝內(nèi)投料量的加大,對(duì)晶體直徑測(cè)量和精度控制的要求也愈來(lái)愈高，研究開(kāi)發(fā)技術(shù)先進(jìn)、精度高、性能穩(wěn)定可靠的自動(dòng)直徑控制（ADC）系統(tǒng)，對(duì)于大幅提升國(guó)產(chǎn)晶體生長(zhǎng)設(shè)備的自動(dòng)化程度和產(chǎn)品質(zhì)量是非常必要的。 本課題依據(jù)激光晶體生長(zhǎng)的工藝要求，

2、在多年研究工作的基礎(chǔ)上開(kāi)發(fā)了一種性能先進(jìn)的上稱重法自動(dòng)直徑控制系統(tǒng)。分析了上稱重法自動(dòng)直徑控制技術(shù)的工作原理，從理論上給出了控制模型，在此基礎(chǔ)上，研究了實(shí)現(xiàn)上稱重法自動(dòng)直徑控制的機(jī)械結(jié)構(gòu)、真空密封、電氣控制、系統(tǒng)標(biāo)定等關(guān)鍵技術(shù)，實(shí)現(xiàn)了晶體瞬時(shí)生長(zhǎng)速率精確而平穩(wěn)的自動(dòng)控制，成功生長(zhǎng)出φ2－3英寸Nd∶YAG晶體及LiNbO3晶體，解決了激光晶體生長(zhǎng)中自動(dòng)直徑控制的難題。通過(guò)對(duì)該系統(tǒng)的靜態(tài)試驗(yàn)及用戶的實(shí)際生產(chǎn)狀況來(lái)看，該上稱重法自動(dòng)直徑控制