支持概率的光刻熱點(diǎn)修復(fù)數(shù)據(jù)的存儲管理.pdf

1、在目前快速發(fā)展信息時(shí)代,不確定數(shù)據(jù)的地位和作用越來越大。XML的半結(jié)構(gòu)化、自描述性好及可擴(kuò)展性高等許多優(yōu)點(diǎn),使其在概率數(shù)據(jù)表示上與關(guān)系概率模型相比較占優(yōu)勢。
　　 本文將概率數(shù)據(jù)庫的概念引入到實(shí)際工作中,對實(shí)際工作中的一種用于交換光刻熱點(diǎn)數(shù)據(jù)的文件格式進(jìn)行改進(jìn),從而解決現(xiàn)有的工具運(yùn)行時(shí)間過長等問題。
　　 越來越多的客戶要求在流片(tape out)之前消除設(shè)計(jì)規(guī)則檢查(Design Rule Check,簡稱DRC)錯

2、誤和光刻熱點(diǎn)(lithography hotspots)。為了達(dá)到這個(gè)目的,我們公司去年提出一種基于XML的文件格式——光刻熱點(diǎn)修復(fù)數(shù)據(jù)文件,該文件是由signoff工具產(chǎn)生,然后布線工具根據(jù)該文件的信息去修改版圖,從而修正復(fù)雜的DRC錯誤和光刻熱點(diǎn)。該文件包括錯誤描述,和若干種修正指導(dǎo)建議,這些修正指導(dǎo)建議不保證能夠修復(fù)對應(yīng)的錯誤,也就是說每一個(gè)建議都有一定的成功概率,我們的布線工具會根據(jù)這些建議依次試下來,這樣有很多隨機(jī)性,最差的情

3、況是每一個(gè)錯誤都要試著修正很多次,對運(yùn)行時(shí)間以及內(nèi)存消耗都有很大影響,當(dāng)然我們可以要求這些修正建議要按照成功概率依次排列,這樣工具就有可能節(jié)省運(yùn)行時(shí)間以及內(nèi)存消耗,但是這樣帶來的問題是很難進(jìn)行插入操作。
　　 為了克服以上缺點(diǎn),本文提出了將光刻熱點(diǎn)修復(fù)數(shù)據(jù)文件改進(jìn)成用概率XML描述,給每一種修正建議付上概率值,從而達(dá)到改進(jìn)運(yùn)行時(shí)間及內(nèi)存消耗的日的。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明對于絕大部分design,運(yùn)行時(shí)間和內(nèi)存消耗都有改進(jìn)。