磁控油射制備TiO2薄膜及其親水性能實驗研究.pdf

1、利用反應磁控濺射方法，在硅片表面制備了二氧化鈦納米薄膜材料。研究了其工藝參數(shù)，如:沉積時間、氧氣流量、工作壓力、電源功率及靶基距對薄膜晶體結構、成分和親水性能的影響，得到了研究的最佳工藝參數(shù)。為了便于比較，在此工藝參數(shù)基礎上制備了摻氮TiO2薄膜，研究了退火處理對薄膜結構和親水性的影響。用接觸角測量儀對薄膜的親水性能進行表征。用臺階儀測量了薄膜的厚度;采用X射線衍射、X射線光電子能譜、場發(fā)射掃描電鏡等測試手段研究了薄膜的晶體結構、薄膜的

2、組成成分和表面形貌納米粒子的大小等，并分析各因素對薄膜親水性的影響。
　　研究表明:TiO2薄膜和摻氮TiO2薄膜的親水性都與退火溫度有關。退火處理后，水在薄膜表面的接觸角急劇下降，薄膜的親水性增強。摻氮TiO2的親水性能優(yōu)于TiO2薄膜，摻氮有利于TiO2銳鈦礦晶型的形成，提高了薄膜的結晶度，改善了薄膜的親水性。在無光照條件下，摻氮TiO2薄膜的親水性可維持20天左右，經(jīng)可見光照射后，摻氮TiO2薄膜的親水性可以恢復，而TiO2