雙光路激光干涉測(cè)長(zhǎng)儀及其在三坐標(biāo)機(jī)上的使用.pdf

1、在科研和生產(chǎn)各個(gè)領(lǐng)域，隨著高精度的尺寸測(cè)量以及應(yīng)用在柔性定位跟蹤系統(tǒng)等各種的需要，激光干涉儀因?yàn)槠渫怀龅男阅芎吞攸c(diǎn)，已經(jīng)在越來越多的領(lǐng)域廣泛使用。 該文對(duì)新型的雙光路激光干涉測(cè)長(zhǎng)儀進(jìn)行了研究，著力于使其產(chǎn)品化，更便于實(shí)際應(yīng)用。 論文的主要工作包括： 1.論述了這種新型激光干涉測(cè)長(zhǎng)儀的工作原理及特點(diǎn)。在測(cè)量中測(cè)頭能從工件的一端移到另一端而不丟光；光路上能補(bǔ)償因測(cè)頭系統(tǒng)發(fā)生傾斜而造成的阿貝誤差。 2.設(shè)計(jì)制作

2、了所有需要的光學(xué)器件，并研究了這些光學(xué)器件因加工及裝配上的誤差給測(cè)量結(jié)果帶來的影響，以及調(diào)試上可能出現(xiàn)的困難。 3.設(shè)計(jì)加工出一整套安裝光學(xué)器件的機(jī)械裝置，它具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單可靠，對(duì)需調(diào)整的光學(xué)器件各有其獨(dú)立的微調(diào)結(jié)構(gòu)，能夠方便地對(duì)光學(xué)器件的三個(gè)角自由度做出相應(yīng)的調(diào)整。當(dāng)調(diào)試完成后，可組裝為一體，以后測(cè)量時(shí)只需整體調(diào)整就可使用，不必對(duì)其內(nèi)部的光學(xué)器件做單獨(dú)的調(diào)整。整個(gè)機(jī)械結(jié)構(gòu)尺寸小，重量輕。觸發(fā)測(cè)頭采用接觸式觸發(fā)，通過平行片簧懸吊測(cè)

3、桿、測(cè)球及測(cè)量鏡，使用電渦流位移傳感器拾取測(cè)頭觸發(fā)信號(hào)。 4.為使這種激光干涉測(cè)長(zhǎng)儀能方便地應(yīng)用于三坐標(biāo)機(jī)，設(shè)計(jì)一套能實(shí)際使用的觸發(fā)電路，拾取當(dāng)三坐標(biāo)機(jī)運(yùn)行時(shí)，測(cè)頭接觸工件時(shí)發(fā)出的信號(hào)，觸發(fā)激光干涉儀讀取觸發(fā)時(shí)的信號(hào)并記錄數(shù)據(jù)，并且此觸發(fā)信號(hào)還能使三坐標(biāo)機(jī)停機(jī)，以避免三坐標(biāo)機(jī)的繼續(xù)運(yùn)行而損壞測(cè)頭或工件。確定了電渦流位移傳感器的發(fā)訊值，實(shí)現(xiàn)微測(cè)量接觸力發(fā)訊，以減小測(cè)球及測(cè)桿在力的作用下接觸變形和彎曲變形。 5.在三坐標(biāo)測(cè)量