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文檔簡介
1、該文提出并實現(xiàn)了一種由光學顯微系統(tǒng)、偏振干涉技術和條紋掃描波面位相實時檢測技術相結合,集三維輪廓測量和粗糙度測量為一體的多功能激光數(shù)字化干涉顯微系統(tǒng).該系統(tǒng)將泰曼—格林系統(tǒng)與光學顯微系統(tǒng)結合,可用來測量不同反射率樣品表面的微觀輪廓和粗糙度.該文在分析了國內外不同干涉顯微系統(tǒng)的基礎上,根據(jù)干涉顯微測量方面的需求提出了采用偏振干涉和條紋掃描方式實時檢測波面位相的激光干涉顯微系統(tǒng),提出了一種可用于表面微觀輪廓及粗糙度參數(shù)測量的光學顯微干涉系統(tǒng)
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