磁浮平面電機(jī)運(yùn)動控制系統(tǒng)硬件設(shè)計.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、磁浮平面電機(jī)是一種平面運(yùn)動機(jī)構(gòu),其動子和定子間采用磁浮支撐,可實現(xiàn)無摩擦磨損的六自由度大行程平面運(yùn)動。相比于依靠直線電機(jī)正交組合驅(qū)動的傳統(tǒng)平面電機(jī),它具有運(yùn)動結(jié)構(gòu)簡單和運(yùn)動質(zhì)量輕等特點,易于實現(xiàn)高速和高加速,利于雙臺交換并可在真空壞境工作,是高性能光刻機(jī)的新型核心驅(qū)動部件,并是下一代極紫外光刻機(jī)的運(yùn)動必需部件。因此,開展磁浮平面電機(jī)研究,對提升我國的高性能光刻機(jī)技術(shù)具有重要意義。
　　本文對磁浮平面電機(jī)的運(yùn)動控制系統(tǒng)硬件進(jìn)行了設(shè)計

2、研究。根據(jù)磁浮平面電機(jī)運(yùn)動控制特點與獨立線圈控制的解耦特性,提出了基于DSP+FPGA的控制器及功率放大器硬件結(jié)構(gòu),進(jìn)行了運(yùn)動控制器與功率放大器的硬件電路設(shè)計。運(yùn)動控制器硬件設(shè)計包括:DSP子系統(tǒng),FPGA子系統(tǒng),模擬和數(shù)字I/O接口電路,RS-485高速通信電路,高速并行總線接口電路,電源電路等;功率放大器硬件設(shè)計包括:放大器接口電路、PWM電路、功率橋電路、輸出濾波電路、電流環(huán)反饋電路、過載保護(hù)電路等。最后通過搭建系統(tǒng)調(diào)試平臺和環(huán)境

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