四甲基氫氧化銨合成工藝條件研究.pdf_第1頁(yè)
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1、隨著大規(guī)模集成電路的不斷發(fā)展，對(duì)高純電子級(jí)四甲基氫氧化銨(TMAH)的需求量不斷增大，但傳統(tǒng)制取TMAH的方法存在成本高和雜質(zhì)離子含量高等缺陷。綜合比較文獻(xiàn)，本文選擇了以碳酸二甲酯和三甲胺甲醇溶液為原料，經(jīng)過合成、水解和電解制備高純度TMAH。
　　 通過單因素實(shí)驗(yàn)和正交實(shí)驗(yàn)，討論了原料配比（碳酸二甲酯和三甲胺的摩爾比）、反應(yīng)溫度、反應(yīng)時(shí)間、反應(yīng)壓力對(duì)合成反應(yīng)轉(zhuǎn)化率的影響。得出最佳工藝條件：原料配比為1:1.2，溫度為125℃，

2、反應(yīng)時(shí)間為5.5h，反應(yīng)壓力2MPa,轉(zhuǎn)化率達(dá)到99.06％。
　　 通過單因素實(shí)驗(yàn)，考察了四甲基銨碳酸單甲酯的水解工藝條件：水與四甲基銨碳酸單甲酯摩爾比為6:1，在70℃的條件下減壓蒸餾2h，轉(zhuǎn)化率為94.4％。
　　 以鈦基二氧化釕為陽(yáng)極，不銹鋼為陰極，在H型電解槽中恒電流密度電解合成四甲基氫氧化銨，主要考察了電解工藝中離子交換膜種類、原料濃度、電解溫度和電流密度對(duì)電流效率的影響。當(dāng)采用旭化成F4403D為陽(yáng)離子交換

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