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文檔簡介
1、簡單介紹了使用紫外集成生物芯片進(jìn)行對生物戰(zhàn)劑進(jìn)行探測的原理。本文設(shè)計(jì)并制作了一種PDMS微流通道，可以在紫外集成生物芯片中作為試樣的流動通道。
本文以PDMS硅橡膠作為材料，使用再鑄模法進(jìn)行了微流通道基片的制作。工藝過程包括設(shè)計(jì)PDMS微流通道的結(jié)構(gòu)，制作光刻掩膜版，利用光刻以及刻蝕工藝制作出硅陰模，使用基質(zhì)/固化劑配比為10∶1的PDMS材料通過兩次模塑成型過程制作了PDMS基片。研究了PDMS聚合物配比對粘結(jié)強(qiáng)度的影響以及
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