MOEMS光開關陣列芯片的研究.pdf

1、快速發(fā)展的光通信技術促使全光通信網(wǎng)絡浮出水面，全光網(wǎng)絡的發(fā)展依賴于光開關技術的進步。過去幾年間，各種各樣的技術被用于光開關的研究。和其他技術相比，MOEMS光開關技術顯示了無法比擬的技術優(yōu)勢。因此基于MOEMS技術的光開關將成為下一代全光通信網(wǎng)絡的關鍵光器件。 首先，從光開關在全光網(wǎng)絡的應用出發(fā)，比較了各種光開關技術的性能。基于MOEMS技術的光開關和其他技術類型的光開關相比顯然具有更多的優(yōu)良性能，例如波長透明和偏振無關等。敘述

2、了國內(nèi)外目前為止MOEMS光開關技術的發(fā)展現(xiàn)狀。提出了一種基于靜電驅動和垂直微反射鏡技術的MOEMS光開關。 其次，分析了光開關微反射鏡的反射特性，然后推導了歸一化的光開關靜電驅動結構力矩平衡特性方程。另外，討論了各個靜電驅動結構參數(shù)對驅動電壓的影響。隨后，計算了光開關的固有頻率，并且分析了光開關的開關速度。第三，使用MSCPatran有限元軟件對靜電驅動結構進行了建模，并利用有限元分析了各部分的應力分布，對機械結構進行了可靠性