基于振動(dòng)節(jié)點(diǎn)的超聲微驅(qū)動(dòng)研究.pdf

1、壓電換能器是一種依靠壓電材料的正、逆壓電效應(yīng)來實(shí)現(xiàn)電能與機(jī)械能的相互轉(zhuǎn)換的器件。壓電換能器是超聲技術(shù)的主要部件，其種類多，用途廣泛，其中在微納米領(lǐng)域中對(duì)微納米級(jí)物件的操縱具有廣闊的應(yīng)用前景。本課題研究L形換能器驅(qū)動(dòng)微小物件在振動(dòng)節(jié)點(diǎn)上的運(yùn)動(dòng)特性，主要研究內(nèi)容概述如下：
　　介紹利用壓電換能器對(duì)微納米級(jí)物體操縱相關(guān)研究現(xiàn)狀、壓電驅(qū)動(dòng)技術(shù)，并且闡述本課題研究的內(nèi)容及目的。
　　通過理論分析和實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證，研究了L形換能器驅(qū)動(dòng)微顆粒在

2、楔形鋁條表面振動(dòng)節(jié)點(diǎn)上作旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)的機(jī)理。楔形鋁條表面在振動(dòng)節(jié)點(diǎn)周圍周向方向上存在兩處相同方向的局部行波運(yùn)動(dòng)，其可能是驅(qū)動(dòng)微顆粒在節(jié)點(diǎn)上作旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)主要原因。
　　研究微顆粒在振動(dòng)節(jié)點(diǎn)周圍徑向運(yùn)動(dòng)特性。排除了聲輻射力、聲粘性力、聲學(xué)流和行波驅(qū)動(dòng)微顆粒徑向運(yùn)動(dòng)的可能性，確定微顆粒向節(jié)點(diǎn)運(yùn)動(dòng)是由顆粒與鋁條表面相互碰撞引起的。并研究鋁條表面的振幅、微顆粒初始位置及鋁條表面粗糙度對(duì)微顆粒平均徑向速度的影響。
　　研究L形換能器驅(qū)動(dòng)微機(jī)械