光纖微傳感器及其關(guān)鍵技術(shù)的研究.pdf

1、光纖傳感器因其具有高靈敏度，良好電磁兼容特性以及可遠距離傳感等優(yōu)點在生物醫(yī)學、健康監(jiān)測、環(huán)境監(jiān)測以及國防軍事等領(lǐng)域得到廣泛應用。近年來，隨著光纖傳感器技術(shù)的發(fā)展，人們越來越重視光纖傳感器的小型化，低功耗和低成本技術(shù)。本論文對基于光纖表面金屬化、光纖表面圖形化、功能化的傳感技術(shù)進行了研究，并對基于納米銀膜的光纖微傳感器的制作及其傳感特性進行了深入研究。
　　 第一章主要介紹了實現(xiàn)光纖微傳感器的關(guān)鍵技術(shù)，如：光纖刻蝕技術(shù)、光纖表面金

2、屬化、光纖表面圖形化等技術(shù)進展，闡述本論文的研究目的與意義。
　　 第二章通過化學鍍膜和電化學鍍膜方法，實現(xiàn)了在光纖表面金屬銀膜的制備，實驗結(jié)果表明在光纖表面制備的金屬銀鍍層致密，且厚度可通過實驗參數(shù)進行控制，為實現(xiàn)多種類型光纖微傳感器的制作提供了基礎；同時還對光纖表面真空熱濺射鍍膜技術(shù)進行了研究，設計出用于旋轉(zhuǎn)熱濺射鍍膜的夾具。
　　 第三章采用低成本的菲林片光刻掩模模板，基于MEMS微加工技術(shù)，設計并制作了幾種用于光

3、纖微結(jié)構(gòu)加工的夾具；并利用光纖微加工夾具，實現(xiàn)了光纖表面的圖形化。
　　 第四章采用化學鍍銀工藝制備的納米銀膜，制作了基于法布里-泊羅腔結(jié)構(gòu)光纖微傳感器，對其壓力、溫度等傳感特性進行了深入的研究，實驗獲得其壓力靈敏度和溫度靈敏度分別為70.5nm/kPa和39.3nm/℃，與已有文獻報道結(jié)果相比，該傳感器壓力靈敏度提高一個量級；并在此基礎上，我們對該納米銀膜的音頻響應特性以及楊氏模量進行了初步探討。
　　 第五章對本論文