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文檔簡介
1、涂覆機是PDP生產(chǎn)線中的關(guān)鍵設備，該設備主要負責PDP面板上的多種膜的生成。本論文主要負責涂覆機中涂覆噴頭的支撐架-拱架的結(jié)構(gòu)設計和分析。該結(jié)構(gòu)有兩個自由度：由直線電機驅(qū)動拱架整體做水平運動；由旋轉(zhuǎn)伺服電機驅(qū)動噴頭做上下運動。拱架結(jié)構(gòu)由氣浮軸承支撐，懸浮于大理石基座上。拱架內(nèi)部裝有絲杠和導軌來保證豎直方向的定位精度和剛度。無論水平還是豎直運動，都有較高的精度要求，需要加裝光柵尺對其位移進行檢測，與控制系統(tǒng)形成全閉環(huán)控制系統(tǒng)。由于噴頭定位
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