基于條紋投影的三維小視場測量系統(tǒng)研究.pdf

1、面向微小物體的三維形貌測量是現(xiàn)代測試技術(shù)中一個重要的分支。自從上世紀(jì)80年代MEMS器件在國外受到廣泛的應(yīng)用，其相應(yīng)的形貌測量技術(shù)也得到了快速的發(fā)展?？偟膩碚f，與國外的測量儀器和測試技術(shù)相比較，目前國內(nèi)針對微小物體的測試系統(tǒng)還需要進(jìn)一步提升性能。因此，更高的測量精度、自動化程度以及更快的測試速度，是表面形貌測試技術(shù)奮斗的目標(biāo)。
　　基于上述現(xiàn)狀，本論文從理論和實(shí)踐上對微小物體的三維形貌測量進(jìn)行了深入的研究。首先，總結(jié)了國內(nèi)外針對微

2、小物體尤其是MEMS器件三維形貌測量的發(fā)展現(xiàn)狀，分析了各個測量方法的優(yōu)缺點(diǎn)以及適用范圍，本文選擇了高精度、非接觸、測量速度快的條紋投影方法進(jìn)行微小物體三維形貌的測量；其次，根據(jù)被測物體的大小，選擇合適的光學(xué)器件，搭建一套用于獲取微小物體三維形貌的硬件系統(tǒng)，調(diào)節(jié)光路，獲得符合測量要求的視場以及清晰的變形條紋圖；再次，編寫標(biāo)定以及系統(tǒng)精度驗(yàn)證等程序，將軟件系統(tǒng)與硬件系統(tǒng)相結(jié)合，完成基于條紋投影的三維小視場測量系統(tǒng)的設(shè)計(jì)；最后，完成小視場標(biāo)定