大口徑光學元件激光預處理系統(tǒng)運動控制軟件設計.pdf

1、由于現(xiàn)有加工工藝的不足，光學元件在加工過程中，會在元件表面及亞表面殘留缺陷，這些缺陷的存在對光學元件的使用會造成不可避免的破壞。另一方面，高精密光學元件在現(xiàn)代工業(yè)領域中的使用范圍是越來越廣泛，同時，各工業(yè)領域尤其是高科技領域在使用高精密光學元件時，對光學元件各項性能的要求也越來越高。這就出現(xiàn)了矛盾，解決這一矛盾的辦法有兩個，一是提高光學元件的加工條件，另一是在光學元件加工完成后進行處理來提高光學元件的性能。各項研究表面，光學元件在進行激

2、光預處理后，其抗損傷閾值得到了顯著的提高。而光學元件激光預處理成功有效的關鍵是運動速度與運動精度控制的保證。
　　本文首先通過研究國內(nèi)外運動控制技術的發(fā)展現(xiàn)狀及發(fā)展方向，為本設計設定運動控制精度目標的可行性及運動控制平臺的搭建提供依據(jù)。大口徑激光預處理系統(tǒng)作為一個整體，運動控制模塊在該系統(tǒng)中處于決定系統(tǒng)性能及完善與否的關鍵位置，在比較不同的機械結構設計、不同電機種類的差異、不同絲桿的優(yōu)缺點后，搭建整個運動控制平臺，為運動速度與運動