基于壓電聚合物薄膜的可調(diào)諧Fabry-Perot濾波器.pdf

1、光通信系統(tǒng)的不斷發(fā)展推動(dòng)了WDM技術(shù)的不斷進(jìn)步，因而也極大推動(dòng)了包括光學(xué)濾波器在內(nèi)的光學(xué)器件的發(fā)展。其中可調(diào)諧法布里一珀羅濾波器(FPF)在光通信中得到了廣泛的應(yīng)用。到目前為止，國內(nèi)外對FPF的研究已經(jīng)很多，利用不同調(diào)制原理的FPF在調(diào)制范圍、響應(yīng)速度、插入損耗等方面各有優(yōu)缺點(diǎn)，得到了不同的應(yīng)用。而PVDF及其共聚物由于柔軟、易于大面積制作等優(yōu)點(diǎn)也一直得到廣泛的研究，尤其是近年來PVDF共聚物的電致伸縮效應(yīng)也有了一定程度的研究。本文中的

2、主要工作是將偏氟乙烯(VDF)與三氟乙烯(TrFE)的共聚物P(VDF—TrFE)的電致伸縮效應(yīng)應(yīng)用到F—P濾波器中，制作出較寬光譜可調(diào)諧的高性能濾波器。
　　 本文通過對器件中可能存在的效應(yīng)的分析，確定了器件結(jié)構(gòu)。該結(jié)構(gòu)采用DBR/電極/間隔層/電極/DBR的形式制作濾波器，其中以壓電聚合物P(VDF—TrFE)為間隔層，器件透光部分刻蝕以消除電光效應(yīng)。此結(jié)構(gòu)優(yōu)點(diǎn)是排除了電光效應(yīng)的影響，提高了電壓利用率，并且所有制作工藝都為常

3、規(guī)制作工藝，不會(huì)增加器件成本。
　　 在紅外波段制作了刻蝕與不刻蝕器件，并對其進(jìn)行性能對比，驗(yàn)證了本文所采用的器件結(jié)構(gòu)有利于提高透過率等F—P腔性能。在可見和紅外波段分別制作了刻蝕器件，研究F—P腔在不同波段的性能。討論了不同制作工藝對器件濾波性能的影響。
　　 在紅外波段對刻蝕過的F—P器件進(jìn)行加電壓調(diào)制，測試濾波器透過率光譜以觀察電壓對中心波長的調(diào)制。據(jù)實(shí)際結(jié)果得到腔的光學(xué)厚度為8.04μm，腔長在電場作用下收縮。在