IC企業(yè)CIMS系統(tǒng)的研究與設(shè)計(jì).pdf_第1頁(yè)
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1、半導(dǎo)體制造在世界范圍內(nèi)都屬于高科技行業(yè)，但在國(guó)內(nèi)卻是屬于薄弱和緊缺的行業(yè)。在新的一個(gè)世紀(jì)里半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)已被定為中國(guó)的支柱產(chǎn)業(yè)。 在半導(dǎo)體制造業(yè)中計(jì)算機(jī)集成制造系統(tǒng)起著舉足輕重的作用。本論文就是以半導(dǎo)體制造這個(gè)大的環(huán)境為背景，研究半導(dǎo)體制造企業(yè)CIMS系統(tǒng)的體系結(jié)構(gòu)，分析在半導(dǎo)體制造行業(yè)中如何實(shí)現(xiàn)制造執(zhí)行系統(tǒng)(MES)和設(shè)備自動(dòng)化。 本論文首先介紹了CIMS的發(fā)展和系統(tǒng)結(jié)構(gòu)，接著介紹了IC制造工藝流程以及在IC半導(dǎo)體制造業(yè)中

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