測微儀測頭的動態(tài)性能研究.pdf

1、掃描式電感測微儀測頭因其測量精度高、量程大、安裝使用方便,而在CNC齒輪測量中心、觸針式輪廓儀、圓度儀、圓柱度儀及幾何形位誤差測量中心等精密量儀上廣泛使用.然而,以往人們對電感測微儀的研究僅限于其靜態(tài)性能,隨著其應(yīng)用領(lǐng)域的擴(kuò)大及測量效率的提高,測微儀測頭由以往測量靜態(tài)或準(zhǔn)靜態(tài)信號擴(kuò)展到測量動態(tài)信號,這就對測頭的動態(tài)響應(yīng)性能提出了要求.測微儀測頭在測量工件時(shí)屬于接觸式測量,它存在的主要問題是當(dāng)接觸式測頭快速掃描工件時(shí),被測信號的迅速變化可

2、能會使測頭脫離工件,這樣測頭的輸出信號就不能正確反映被測信號的真實(shí)情況.因此,找出測頭的測量臨界脫離頻率、分析影響臨界頻率的因素,并以此來改善測頭的動態(tài)響應(yīng)性能是研究接觸式測頭動態(tài)測量特性的關(guān)鍵內(nèi)容,對于提高其測量效率和測量精度具有很強(qiáng)的實(shí)際意義.該文以平行簧片式測微儀測頭的結(jié)構(gòu)為例,建立了測頭在動態(tài)掃描測量時(shí)的數(shù)學(xué)模型.并對其動態(tài)響應(yīng)性能進(jìn)行了深入地理論分析.同時(shí),研制出了測頭動態(tài)性能測試試驗(yàn)臺,對測頭的動態(tài)特性進(jìn)行了系統(tǒng)的實(shí)驗(yàn)測試,