基于白光干涉的絕對距離測量方法的研究.pdf

1、隨著工業(yè)的發(fā)展，產(chǎn)品的測量精度有待進一步提高，絕對距離的測量裝置在近幾年更是需要改善。為此本課題研究了一種基于白光干涉測量裝置來測量絕對距離。本論文從理論研究和實用角度出發(fā)，深入研究了白光譜域干涉的原理和特性，介紹了通過分析白光干涉光譜進行絕對距離測試的方法。文章主要研究白光干涉測量系統(tǒng)：利用白光Michelson干涉儀組成的干涉系統(tǒng)，USB2000光纖光譜儀來接收與絕對距離相關(guān)的干涉光譜信號。文章詳細論述了系統(tǒng)的測量原理、測量裝置、數(shù)

2、據(jù)處理及實驗驗證。在本論文研究的系統(tǒng)的最后輸出信號只與干涉儀的臂長差有關(guān)，而與其在測量光路的相位無關(guān)，因此，該測量系統(tǒng)有效地提高了系統(tǒng)的抗振能力；同時，利用頻譜域白光干涉原理提高了測量范圍和抗干擾能力。 本論文討論了白光干涉譜分析基礎(chǔ)上的絕對距離測量方法，利用光程差大于相干長度時進行譜域干涉的特性，提高了白光干涉法測量的動態(tài)范圍。采用的白光干涉譜數(shù)據(jù)處理方法，從理論和技術(shù)上解決了白光干涉絕對距離測量技術(shù)中影響系統(tǒng)精度的核心問題，