原子力與光子掃描隧道組合顯微鏡功能性樣機.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、論文第一部分為緒論,主要介紹了SPM掃描探針顯微鏡的發(fā)展過程和現(xiàn)狀,其中重點敘述了原子力顯微鏡(AFM)、光子掃描隧道顯微鏡(PSTM)和掃描近場光學顯微鏡(SNOM)等的基本原理,并闡明了在一般PSTM光學成像上存在假象和光學圖像與形貌圖像不能分解的兩個問題.第二部分講述AF/PSTM系統(tǒng)理論和總體設計,闡明了PSTM減少假象的原理,AF/PSTM光學信號的分解原理等.將這些原理作為AF/PSTM系統(tǒng)設計要求的依據(jù),形成了AF/PST

2、M樣機的總體設計.第三部分根據(jù)樣機的總體設計要求,說明AF/PSTM樣機研制中幾個重要環(huán)節(jié):雙功能光纖尖共振調(diào)制掃描工作模式,儀器主從式結構設計,PSTM光信號的圖像分解的解算實時處理架構,電控主機箱的設計,以及光纖共振峰的搜索等.第四部分介紹AF/PSTM樣機研制中的監(jiān)控軟件設計.第五部分詳細介紹了DSP卡的設計.最后第六部分,講述了如何驗證AF/PSTM達到功能性樣機要求,給出了考機測試方法,結果和時域有限差分(FDTD)數(shù)值模擬結

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