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1、 本文設(shè)計(jì)了一種新型的電磁驅(qū)動(dòng)位錯(cuò)型微機(jī)械可變式光衰減器，它的工作波長為1550nm，主要由平面線圈型微驅(qū)動(dòng)器、硅彈性系統(tǒng)和單模光纖三部分組成。其工作原理是：平面線圈型微驅(qū)動(dòng)器驅(qū)動(dòng)由硅懸臂梁支撐的硅彈性平臺(tái)，使得安裝在此平臺(tái)上的輸入輸出光纖產(chǎn)生徑向位錯(cuò)，造成耦合效率的降低從而實(shí)現(xiàn)對光功率的衰減。 分別采用磁路定理和畢奧-薩伐爾定理分析了本文所設(shè)計(jì)的鐵芯型微驅(qū)動(dòng)器和所產(chǎn)生的電磁力。在分析計(jì)算的基礎(chǔ)上，并結(jié)合實(shí)際加工工藝對鐵芯型微驅(qū)動(dòng)
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