CMOS集成二維熱流量傳感器的研究.pdf

1、該文基于國內(nèi)外現(xiàn)有的研究成果,通過大量的研究和論證,提出了一個(gè)具有新型對(duì)稱結(jié)構(gòu)的CMOS集成二維熱流量傳感器.文中具體闡述了此傳感器的工作原理,設(shè)計(jì)過程以及制作方法和最后的測(cè)試結(jié)果.在傳感器的設(shè)計(jì)過程中,該文進(jìn)一步發(fā)展了一個(gè)熱電薄膜結(jié)構(gòu)的流量傳感器的熱學(xué)模型,利用改進(jìn)后的分析模型具體探討了傳感器性能參數(shù)（如靈敏度、探測(cè)率和熱時(shí)間常數(shù)）與其幾何尺寸的關(guān)系,用曲線形式所表示的分析結(jié)果為此類傳感器的優(yōu)化設(shè)計(jì)提供了依據(jù).待傳感器的幾何尺寸和結(jié)構(gòu)

2、布局以及加工工藝確定后,該文利用有限元分析工具ANSYS/FLOTRAN CFD對(duì)其進(jìn)行了具體的模擬和分析.其模擬分析結(jié)果與傳感器實(shí)際測(cè)量的結(jié)果對(duì)比,發(fā)現(xiàn)二者基本吻合,從而為進(jìn)一步優(yōu)化設(shè)計(jì)此傳感器提供了一個(gè)簡(jiǎn)單而有效的方法.最后,對(duì)此傳感器進(jìn)行了具體的加工和測(cè)量,測(cè)試結(jié)果表明此傳感器性能良好,達(dá)到了預(yù)期的結(jié)果.綜合而言,此傳感器具有節(jié)省芯片面積、靈敏度高、體積小、易于集成和性能優(yōu)越等優(yōu)點(diǎn),同時(shí)在工藝、封裝以及系統(tǒng)集成等方面還存在一些問題