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文檔簡(jiǎn)介
1、石英晶體壓力傳感器的精度高與良好的長(zhǎng)期穩(wěn)定性等特點(diǎn),使其可以廣泛的應(yīng)用在氣壓與高度測(cè)量、壓力自動(dòng)校準(zhǔn)和精密過(guò)程控制等領(lǐng)域。
本課題研究的石英晶體壓力傳感器主要由壓力敏感元件和激振電路這兩部分組成,依據(jù)壓電效應(yīng)原理,以石英晶體為力敏元件,采用兩個(gè)“錐形臺(tái)”式結(jié)構(gòu)來(lái)承載壓力,將結(jié)構(gòu)頂端壓力轉(zhuǎn)化成石英晶體的徑向載荷,利用石英晶體的固有頻率隨外加載荷的變化實(shí)現(xiàn)檢測(cè)被測(cè)壓力的大小。采用COMSOLMultiphysics仿真軟件設(shè)計(jì)
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