納米精度測量與校準(zhǔn)系統(tǒng)關(guān)鍵技術(shù)研究.pdf

1、該論文是基于"納米校準(zhǔn)技術(shù)研究"課題部分關(guān)鍵技術(shù)研究以及航空科學(xué)基金"納米精度測量與校準(zhǔn)中微位移驅(qū)動/定位系統(tǒng)研究"中的理論研究成果形成的.論文開展的創(chuàng)新性工作包括以下幾個方面:1.相位偏移干涉移相誤差補償技術(shù)研究.在研究相位偏移干涉測量技術(shù)基礎(chǔ)上,重點研究了五幅算法計算精度及移相誤差對計算結(jié)果的影響;提出了四幅算法及五幅算法移相誤差補償方法.2.相位偏移干涉測量技術(shù)在納米精度測量與校準(zhǔn)系統(tǒng)中的應(yīng)用研究.將相位偏移干涉測量技術(shù)應(yīng)用于測量

2、與校準(zhǔn)系統(tǒng)運動轉(zhuǎn)角誤差測量,初步試驗驗證了該方法的可行性.3.外差式激光干涉儀非線性誤差分析研究.從理論上研究了雙頻激光干涉儀非線性誤差產(chǎn)生的原因;分析了直流偏量、等幅性偏差、正交誤差對比相法相位測量結(jié)果的影響;4.外差式激光干涉儀非線性誤差補償技術(shù)研究.在研究干涉測量非線性誤差補償原理的基礎(chǔ)上,提出一種基于待檢偏測量信號參數(shù)估計原理的非線性誤差補償方法. 5.柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)參數(shù)分析.研究了二維復(fù)合式懸臂梁柔性鉸鏈模態(tài)頻率、靜態(tài)特性與鉸鏈