多表面干涉波面復原技術(shù)研究.pdf

1、慣性約束核聚變(ICF)成為當今世界各國為發(fā)展核能源的重要研究方向。準確的測量光學元件面形對此項研究具有非常重要的作用。在測量平行平板類光學元件時，通常會產(chǎn)生多表面干涉，使用普通硬件移相干涉儀進行測量，無法區(qū)分多組干涉條紋，從而不能準確的測量光學元件的面形。本論文針對多表面干涉波面復原技術(shù)展開研究。
　　 根據(jù)波長移相原理與傅里葉變換理論，結(jié)合三表面干涉，通過計算得到不同厚度下的被測元件厚度與前標準鏡和被測元件間距離的最優(yōu)比例關(guān)

2、系。對采集到的多組干涉圖進行傅里葉變換，通過提取帶有被測元件前后表面面形的頻率信息，采用論文設計的重構(gòu)算法得到準確的前后表面面形信息。構(gòu)建了仿真平臺，分別對在不同厚度、不同平行度、不同畸變量的被測平行平板光學元件進行分析，結(jié)果表明算法在這幾種邊界條件下可行，并且有較高的精度。
　　 搭建實際光學系統(tǒng)，分別對厚、薄兩塊平行平板光學元件進行測量，計算得到被測元件的面形。為了與論文算法得到的面形結(jié)果進行對比，對兩塊元件涂抹凡士林后使用