超低溫壓力傳感器的結構設計.pdf

1、超低溫壓力傳感器是指在4K～110K范圍內的低溫環(huán)境下能正常工作的壓力傳感器。在眾多類型的壓力傳感器中，超低溫壓力傳感器因其特殊應用環(huán)境而日漸受到人們的重視，尤其是在液氫液氧作為燃料使用越來越多的情況下。超低溫壓力傳感器在航天、工業(yè)運輸?shù)阮I域得到應用。
　　論文介紹了國內外各種超低溫壓力傳感器的研究現(xiàn)狀。系統(tǒng)論述超低溫壓力傳感器的工作原理并進行結構設計。本文還創(chuàng)新性的采用多晶硅納米薄膜作為敏感電阻并應用于超低溫環(huán)境下，開拓了多晶硅

2、薄膜的又一應用方向。設計的傳感器制作工藝簡單，與集成電路工藝兼容，制作成本低。
　　論文利用有限元分析法，借助了ANSYS軟件，建模分析了傳感器的彈性承壓膜的應力場分布情況，確定了多晶硅壓敏電阻的位置及其排列方式。然后在理論分析的基礎上，介紹了每個傳感器參數(shù)的設計過程，對這一傳感器的彈性膜尺寸、壓敏電阻和版圖進行了設計。
　　在研究加工工藝的基礎上，根據設計的結構繪制了傳感器加工用的版圖，并設計了傳感器的加工工藝，在文中給出