微電子機械系統(tǒng)中新型電磁微電機的研究.pdf_第1頁
已閱讀1頁，還剩115頁未讀， 繼續(xù)免費閱讀

下載本文檔

版權說明：本文檔由用戶提供并上傳，收益歸屬內容提供方，若內容存在侵權，請進行舉報或認領

文檔簡介

1、微電子機械系統(tǒng)(簡稱微機械)是在八十年代后期崛起的一門新興的前沿學科。目前，作為二十一世紀的高新技術和潛在的龐大高新技術產業(yè)，微機械已引起世界各國的普遍關注，國內外眾多的大學、科研和產業(yè)部門都正在進行廣泛深入的研究。微機械是一種獨立的微小型化的機電系統(tǒng)，主要由微驅動器，微傳感器，微執(zhí)行器、微控制器以及能源等幾種要素組成。以微電機為代表的微驅動器一直是微機械系統(tǒng)的關鍵技術和研究熱點之一，微電機的技術水平在一定程度上反應了一個國家微機械發(fā)展

溫馨提示

  • 1. 本站所有資源如無特殊說明，都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請下載最新的WinRAR軟件解壓。
  • 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等，如果需要附件，請聯系上傳者。文件的所有權益歸上傳用戶所有。
  • 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙，網頁內容里面會有圖紙預覽，若沒有圖紙預覽就沒有圖紙。
  • 4. 未經權益所有人同意不得將文件中的內容挪作商業(yè)或盈利用途。
  • 5. 眾賞文庫僅提供信息存儲空間，僅對用戶上傳內容的表現方式做保護處理，對用戶上傳分享的文檔內容本身不做任何修改或編輯，并不能對任何下載內容負責。
  • 6. 下載文件中如有侵權或不適當內容，請與我們聯系，我們立即糾正。
  • 7. 本站不保證下載資源的準確性、安全性和完整性, 同時也不承擔用戶因使用這些下載資源對自己和他人造成任何形式的傷害或損失。

評論

0/150

提交評論