激光誘導(dǎo)熒光法對(duì)低氣壓NO射頻等離子體診斷與研究.pdf

1、分類號(hào)：UDC：密級(jí)：必編號(hào)：——激光誘導(dǎo)熒光法對(duì)低氣壓NO射頻等離子體診斷與研究DIAGNOSTICSANDRESEARCHONTHERFPLASMLAoFLoWPRESSURENOBASEDONLASERINDUCEDFLOURESCENCE學(xué)位授予單位及代碼：量查堡王太堂(!Q!墾盟學(xué)科專業(yè)名稱及代碼：物堡電王堂iQ墨Q旦Q!)論文起止時(shí)間：2Q!!!!堅(jiān)2Q12：!呈學(xué)號(hào)：S!QQ!QQ鯉魚申請(qǐng)學(xué)位級(jí)別：亟研究生：彭擅摘要本論文

2、以Nd：YAG固體激光器泵浦LPX200染料激光器(DyeLaser)，用激光誘導(dǎo)熒光的方法(LIF)探測(cè)低氣壓NO等離子體中NO分子在基態(tài)到共振激發(fā)態(tài)(A2∑一X2兀)的熒光激發(fā)光譜；運(yùn)用較大體積的、較高真空的分子束自由基成像系統(tǒng)IRIS，利用探測(cè)器件ICCD相機(jī)進(jìn)行拍照得到熒光圖片和光譜分辨的圖像。在激光輸出波長(zhǎng)為2262nm時(shí)對(duì)受NO射頻放電等離子體的功率和氣壓變化影響的熒光強(qiáng)度進(jìn)行定量測(cè)量。此外，對(duì)于IRIS設(shè)備中腔體內(nèi)的不同填

3、充物對(duì)NO(A2∑X2兀)熒光強(qiáng)度的影響作了定量的表征。結(jié)果表明，在紫外波段205240nm和2260522612nm所激發(fā)的NO(A2EX2H)熒光光譜與理論結(jié)果吻合。此外，在石英砂、鈷(Co)分子塞分別填充的時(shí)候測(cè)量NO基態(tài)粒子的熒光強(qiáng)度，結(jié)果是不同的：石英砂幾乎不存在吸收紫外熒光，而分子塞鈷(Co)由于結(jié)構(gòu)上有孔洞，存在一定物理吸附，使得部分NO分子被吸附從而降低了熒光強(qiáng)度。關(guān)鍵詞：激光誘導(dǎo)熒光熒光激發(fā)光譜射頻等離子體低氣壓分子束