虛擬樣機(jī)技術(shù)在磁懸浮精密定位平臺(tái)中的機(jī)電一體化研究.pdf

1、本文綜述了微電子制造設(shè)備發(fā)展趨勢(shì)及其精密工作臺(tái)如光刻機(jī)工作臺(tái)的國(guó)內(nèi)外發(fā)展現(xiàn)狀及磁懸浮技術(shù)研究進(jìn)展，概述了磁懸浮技術(shù)及直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)的工作原理，介紹了虛擬樣機(jī)技術(shù)，詳細(xì)研究了了虛擬樣機(jī)的方法，闡明了應(yīng)用虛擬樣機(jī)技術(shù)研制磁懸浮精密定位工作臺(tái)的現(xiàn)實(shí)意義。 將磁懸浮技術(shù)和直線驅(qū)動(dòng)技術(shù)相結(jié)合，采用虛擬樣機(jī)技術(shù)手段設(shè)計(jì)研究了一種新型磁懸浮精密定位工作臺(tái)，它是針對(duì)微電子行業(yè)IC芯片制造設(shè)備如光刻機(jī)而研制的快速步進(jìn)、精密定位機(jī)構(gòu)，是創(chuàng)新性研究。利

2、用磁懸浮技術(shù)將工作臺(tái)懸浮在倒F導(dǎo)軌上，消除了導(dǎo)軌的摩擦和磨損；直線電機(jī)無(wú)接觸驅(qū)動(dòng)實(shí)現(xiàn)了工作臺(tái)的精密定位。運(yùn)用虛擬樣機(jī)技術(shù)，采用CAD/CAE/CAM集成軟件Ugnx2.0對(duì)磁懸浮定位工件臺(tái)進(jìn)行三維概念設(shè)計(jì)，機(jī)構(gòu)運(yùn)動(dòng)分析和干涉檢查，結(jié)構(gòu)布局合理。 應(yīng)用ADAMS/Controls模塊與MATLAB聯(lián)合仿真技術(shù)對(duì)磁懸浮精密定位平臺(tái)原理樣機(jī)機(jī)械系統(tǒng)與控制系統(tǒng)采取了聯(lián)合設(shè)計(jì)、調(diào)試，并進(jìn)行了機(jī)電一體化仿真，最終確定了最優(yōu)的方案。