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1、隨著超大規(guī)模集成電路的發(fā)展,集成電路的集成度已達(dá)到10<'9>的量級(jí),而失效率則已降到10FET,從而對(duì)微電路生產(chǎn)的工藝質(zhì)量和可靠性評(píng)價(jià)技術(shù)提出了新的要求.采用先進(jìn)的質(zhì)量保證和評(píng)價(jià)技術(shù)應(yīng)用在中國(guó)的微電路生產(chǎn)中顯得尤為緊迫.該文針對(duì)微電路生產(chǎn)的實(shí)際特點(diǎn),在微電路生產(chǎn)工藝質(zhì)量控制的SPC系統(tǒng)中引入了多變量控制圖技術(shù),解決了微電路生產(chǎn)中的多變量受控分析問(wèn)題.通過(guò)繪制多變量控制圖和分解多變量統(tǒng)計(jì)量能判斷過(guò)程是否受控,并在出現(xiàn)失控時(shí)解釋失控原因.
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