可靠性技術在激光硅片切割機中的應用研究.pdf

1、隨著科學技術的迅猛發(fā)展，可靠性工程技術已成為一門獨立的邊緣性學科，在工程實踐中受到重視并被廣泛應用。由于產(chǎn)品不可靠造成的巨大損失使人們清醒地認識到，可靠性不僅影響產(chǎn)品的質量，更是關系國計民生和國家快速發(fā)展躋身發(fā)達國家行列的關鍵因素。為此，本文通過收集分析激光硅片切割機的可靠性數(shù)據(jù)，采用FMEA和FTA方法對其可靠性進行了研究。 論文從闡述可靠性分析在新產(chǎn)品研發(fā)中的重要性入手，比較不同可靠性評估常用的方法，提出了采用FMEA和FT

2、A分析激光硅片切割機的可靠性。根據(jù)“激光硅片切割機”的結構和工作原理，找出激光硅片切割機在工作過程中可能出現(xiàn)的潛在故障以及產(chǎn)生故障的原因，結合市場和用戶的需求情況，對激光硅片切割機進行可靠性需求分析。應用FMEA方法在激光硅片切割機設計階段對切割機的故障模式進行預測，分析了激光硅片切割機的失效機理，以減小設備發(fā)生故障的可能性。建立了激光硅片切割機的故障樹，同時進行模塊化。采用容斥定理計算故障概率，解決了激光硅片切割機的FTA不交化問題。