激光圓度儀研究.pdf

1、長春理工大學碩士學位論文激光圓度儀研究姓名：潘敏申請學位級別：碩士專業(yè)：儀器儀表工程指導教師：安志勇20070601摘要圓度誤差是指在垂直于回轉軸線截面上的輪廓對理想圓的變動量。圓度誤差可以用多種方法測量，如V型塊法、氣動法、光干涉法等。其中以精密主軸回轉式圓度儀精度高、測量方便、測量速度快，因而應用最為廣泛。圓度儀按主軸的布局可分為轉臺式和轉軸式兩種。然而隨著科技的發(fā)展，精度要求越來越高，接觸式的測量方式己不能滿足要求于是以非接觸方式

2、測量的光電檢測技術以其高速、高精度、自動化、智能化的優(yōu)點廣泛應用于各個領域。而圓度誤差的非接觸測量也成為一個必然趨勢。本文論述的激光圓度儀即是采用非接觸測量的儀器。主要論述了轉臺式激光圓度儀的總體設計，將圓度儀的工作原理、機械結構和設計要求作一定的闡述并對此圓度儀的空氣靜壓軸系、精密立柱材料的選擇、結構設計以及電機的選擇作了進一步的分析，尤其在圓度儀的激光測頭——非接觸激光測頭的工作原理、構成原理、結構形式以及誤差分析等作了更為全面和深