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文檔簡介
1、隨著MEMS技術(shù)的飛速發(fā)展,微懸浮轉(zhuǎn)子式陀螺逐漸成為研究的熱點(diǎn)和關(guān)注的焦點(diǎn)。不同于傳統(tǒng)振動式陀螺,懸浮轉(zhuǎn)子式具有高精度、高靈敏度等優(yōu)點(diǎn),而且排除了振動式微陀螺所固有的正交耦合誤差等缺點(diǎn),成為具有良好發(fā)展前景的一種MEMS器件,已在美、日、英等國得到了一定的研究成果,顯示出相當(dāng)?shù)陌l(fā)展?jié)摿Α?本文對靜電懸浮轉(zhuǎn)子微陀螺的相關(guān)技術(shù)進(jìn)行了分析和研究,并對信號的處理進(jìn)行了分析和設(shè)計(jì),結(jié)合機(jī)構(gòu)模型,進(jìn)行了動態(tài)仿真。 全文的主要研究內(nèi)容
2、和結(jié)論如下: 對靜電懸浮轉(zhuǎn)子微陀螺的工作原理進(jìn)行了闡述,對懸浮轉(zhuǎn)子微陀螺的動力學(xué)和一般運(yùn)動特性進(jìn)行了分析,對微陀螺結(jié)構(gòu)進(jìn)行了分析。對電容檢測原理進(jìn)行了說明,結(jié)合電容檢測在微陀螺中的應(yīng)用,設(shè)計(jì)了等效控制模型,并就其中的一些關(guān)鍵技術(shù)進(jìn)行了分析。同時提出了控制和檢測的思路和方法。 設(shè)計(jì)了靜電懸浮轉(zhuǎn)子微陀螺DDS信號發(fā)生電路,為后續(xù)控制電路提供良好的信號源,確保了系統(tǒng)正常工作。信號源可根據(jù)實(shí)際需要,通過調(diào)整參數(shù),得到不同的輸出量
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