基于SU-厚膠工藝的SAR型微混合器設(shè)計(jì)及實(shí)驗(yàn)研究.pdf

1、21世紀(jì)分析儀器和分析科學(xué)的目標(biāo)是分析儀器的微型化與集成化，微流體芯片是其中發(fā)展最快的一個(gè)方向。微混合器是微流體芯片的重要組成部分，實(shí)現(xiàn)試劑快速和均勻的混合對(duì)提高整個(gè)芯片性能有重要作用。
　　 本文在對(duì)國(guó)內(nèi)外微混合器已有研究基礎(chǔ)上，首先提出一種基于二維微流道制作工藝的分合式微混合單元；基于三個(gè)比較標(biāo)準(zhǔn)，運(yùn)用仿真對(duì)分合式微混合單元的三個(gè)結(jié)構(gòu)參數(shù)進(jìn)行了優(yōu)化；基于SU-8厚膠工藝，制作出了兩種分合式微混合器，并制作出了兩種典型的微混合

2、器作為比較對(duì)象；用四種不同粘度的流體全面檢驗(yàn)了設(shè)計(jì)的分合式微混合器。本文的主要內(nèi)容如下：
　　 1、總結(jié)了最近幾年微混合器的研究情況，并敘述了各種主動(dòng)式混合器和被動(dòng)式混合器的混合原理和優(yōu)缺點(diǎn)，提出了本課題的主要研究?jī)?nèi)容和研究意義。
　　 2、簡(jiǎn)述了微尺度流動(dòng)的控制方程和相關(guān)常數(shù)，并對(duì)有限體積法的實(shí)質(zhì)、處理過(guò)程、二維和三維流體力學(xué)問(wèn)題的離散方程做了介紹，最后對(duì)微混合單元建模、網(wǎng)格劃分、參數(shù)設(shè)置和邊界條件等方法進(jìn)行了說(shuō)明。<

3、br>　　 3、說(shuō)明了設(shè)計(jì)的分合式微混合器的混合原理，針對(duì)微混合單元，從單位長(zhǎng)度混合效率、分割比、壓力梯度三個(gè)方面，對(duì)混合單元的三個(gè)主要結(jié)構(gòu)參數(shù)：?jiǎn)螌恿鞯郎疃萮、支路夾角θ、支路直段長(zhǎng)度l，進(jìn)行仿真分析，并從微混合器應(yīng)用場(chǎng)合、制作工藝方面綜合考慮，得出優(yōu)化結(jié)構(gòu)參數(shù)：h=100μm，θ=70°，l=0μm。
　　 4、對(duì)SU-8厚膠工藝分步驟做了說(shuō)明，并簡(jiǎn)要介紹了流道材料聚合物PDMS。為客觀評(píng)價(jià)設(shè)計(jì)的分合式和組合分合式微混合器