酞菁類聲表面波氣體傳感器以及碳納米管的摻雜研究.pdf_第1頁
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1、安徽大學(xué)碩士學(xué)位論文酞菁類聲表面波氣體傳感器以及碳納米管的摻雜研究姓名：汪幸申請學(xué)位級別：碩士專業(yè)：微電子與固體電子學(xué)指導(dǎo)教師：徐超；李冬梅201105AbstractAbstractTheresearchedworkofsurfaceacousticwave(SAW)gassensorhadgraduallydevelopedbefore20yearsago，nOWwecoulduseittodetectN02，H2S，NI13，S0

2、2，andothergases，theSAWsensorcoulddirectlyoutputthedigitalsignals，whichcouldnotbecomparedwithothertypesofsensors，Moreoveritalsohadtheparticularofsmallsize，lightqualityhighantiinterferenceabilityhighsensitivitygoodlinearit

3、yandtheeffectivedetectionrange，highaccuracyandSOonPhthalocyanineWasasyntheticcompoundhasalargeconjugatedsystemstructureof18electronic，theholestructureofitcouldadsorbedgaswellanditalsohadagoodchemicalpropertiesandstabilit

4、yMetalphthalocyaninecausedconductivityandqualitychangesoftheSAWdeviceswhenitadsorbedthegases，throughthefrequencychangeoftheSAWdeviceswecoulddetectthedifferentconcentratio璐ofgasASAWgassensorfeaturingZnPcasthesensitivecomp

5、onentforN02detectingatroomtemperaturewaspresentedThefdmofZnPcwassynthesizedthroughasimplephysicalroutebymixingZnPcinNNdimethylamidesolutionAftersomestudiedWefoundthattheZHPGfilmofSAWdeviceshadshownadetectionlimitoflppmfo

6、rN02atroomtemperatureItalsohadaverygoodresponseandrecoveryCarbonnanotubesnotonlyhadgoodmechanicalproperties，electricalconductivity，thermalconductivitybutalsoithadotheraspectspropertiesofopticalperformanceandSOon，ithadala

7、rgesurfaceareaandarichholestructure，wekuewitWasaidealmaterialforgasadsorptionWecouldusethestructureofittoimprovethesensitivityofothermaterialspropertiesWefoundthatbecauseofthedopingMWCNTs，thesensitivityoftheZnPcfilmhasbe

8、engreatlyimprovedBycomparingthescanningelectromicroscopy(SEM)graphofthedopingMWCNTsbeforeandafterInordertodetectthechoiceandstabilityofOUtdevice，atfirstatroomtemperatureWedetectedlOppmSOz，H2S，N02etcgases，atthesametimeWec

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