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1、本文提出了一種在硅杯表面采用濃硼擴(kuò)散區(qū)與鍍金屬膜形成的歐姆接觸電極作為內(nèi)引線的硅基電感的新制造方法。我們?cè)O(shè)計(jì)了硅基電感的版圖尺寸和相關(guān)的工藝流程,用IntelliSuite軟件模擬驗(yàn)證了工藝流程的可能性,再利用Ansys有限元軟件中的電磁分析模塊模擬了電流與磁感應(yīng)強(qiáng)度的關(guān)系、襯底渦流分布等,為平面電感的理論與實(shí)驗(yàn)的進(jìn)一步比較分析提供了參考依據(jù)。在研制過(guò)程中我們發(fā)現(xiàn)影響電感性能好壞的主要因素是襯底渦流效應(yīng),為此本文提出了在矩形硅杯膜上制作
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