徑向剪切干涉儀光學系統(tǒng)設(shè)計與研究.pdf

1、波前畸變是高能脈沖激光波前測量的重要參數(shù)之一。為了更好的測量瞬態(tài)、脈沖激光波前，本論文采用徑向剪切干涉的方法，設(shè)計了一套循環(huán)式徑向剪切干涉系統(tǒng)。具有共光路、不需額外設(shè)置參考面、僅需單幅干涉圖即可進行波面檢測、測試精度高等優(yōu)點。
　　 本文設(shè)計的徑向剪切干涉系統(tǒng)主要包括伽利略望遠系統(tǒng)、三平板剪切干涉系統(tǒng)、成像系統(tǒng)和準直擴束系統(tǒng)。為滿足近紅外波長上的測試要求，設(shè)計了632.8nm/1064nm雙波長徑向剪切干涉系統(tǒng)，解決了近紅外波長

2、調(diào)試困難的問題。為滿足系統(tǒng)測試口徑要求，設(shè)計了變倍成像系統(tǒng)，滿足了系統(tǒng)可測試φ4mm-φ18mm范圍內(nèi)的任意光斑的激光束波前相位的要求。根據(jù)課題技術(shù)指標要求，使用Zemax光學設(shè)計軟件對系統(tǒng)結(jié)構(gòu)進行設(shè)計，模擬分析了系統(tǒng)精度并對系統(tǒng)作公差分析，經(jīng)過加工裝調(diào)后系統(tǒng)精度可達到PV值為λ/10，滿足了系統(tǒng)設(shè)計精度要求。構(gòu)建了標準平面波系統(tǒng)，對徑向剪切干涉系統(tǒng)進行了測試研究，并使用ZYGO干涉儀光源進行了對比得到了相近的結(jié)果。驗證了系統(tǒng)的精度，P