集成電路薄膜導(dǎo)線中孔洞形貌演化的相場(chǎng)法研究.pdf_第1頁(yè)
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1、集成電路中互連導(dǎo)線存在一種典型的失效模式：即顯微孔洞萌生、擴(kuò)張、失穩(wěn)形成狹長(zhǎng)裂紋，從而切斷導(dǎo)線使其發(fā)生開路失效。 本文首先基于尖銳界面法和相場(chǎng)法分別推導(dǎo)出了孔洞演化的控制方程，利用相場(chǎng)界面厚度控制參數(shù)的漸進(jìn)展開式證明了相場(chǎng)模型求解孔洞形貌演化問題的有效性。 其次，利用保角變換的方法，推導(dǎo)出了保角變換后的橢圓形孔洞在表面能作用下遷移控制方程，解決了橢圓形孔洞初邊值較難精確離散設(shè)置的問題。 然后，利用相場(chǎng)法原理建立圓

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