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1、上海交通大學(xué)碩士學(xué)位論文基于射頻CMOS工藝的肖特基二極管建模和特性研究姓名:王楠申請(qǐng)學(xué)位級(jí)別:碩士專業(yè):微電子與固體電子學(xué)指導(dǎo)教師:汪輝20081201上海交通大學(xué)工學(xué)碩士學(xué)位論文ABSTRACT第II頁(yè)TheModelingacteristicAnalysesofSchottkyDiodebasedonRFCMOSTechnologyABSTRACTWithfastdevelopmentoftheradiofrequencywire
2、lesscommunicationsindustrythedemfhighperfmancebutlowcostRFsolutionsisrisingsharply.AsimptantelementsinRFcircuitspassivedeviceshavedrawnmuchattention.SchottkyBarrierDiode(SBD)isoneoftheimptantcomponentsintheRFcircuits.It’
3、sakindofmajitycarrierdevicewithimprovedhighfrequencycapabilityowingtotheabsenceofminitycarrierstage.ItsapplicationsincludeRFsignalrectificationdetectionmixingimaging.WhenthecircuitsisoperatingintheRFrangethesimpleSPICEdi
4、odemodelisinsufficienttodescribetheintegratedSchottkydiodeacteristicsduetothebulkeffectsintroducedbythelossySisubstrate.InthiswkwedesignfabricateSBDntypeCoSi2SiSBDinSMIC0.18μmRFCMOSprocess.basedontheDCRFmeasureddataanove
5、laccurateSchottkydiodemodelwasdevelopedrelevantparameterextractionmethodisalsointroducedindetailinthisthesis.It’sshownthatthesuggestednovelmodelfitsthemeasurementverywellfdifferentvoltagebiasesoverwidefrequencyrangeof0.1
6、GHzto40GHz.TheresearchofRFCMOStechnologyinthepapercanoffersometheeticguidancefapplyingSBDintheRFIC.TheoptimizationoftheSBDlayouthaspracticaldirectiontoimprovetheperfmanceofdevices.ThemodelingofDCRFcanprovidebasistotakefu
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