2023年全國碩士研究生考試考研英語一試題真題（含答案詳解+作文范文）_第1頁
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文檔簡介

1、最近幾年來，微電子機械系統(tǒng)(MEMS)逐漸向光學方面滲透，在二十世紀九十年代中后期形成了全新的技術(shù)領(lǐng)域—微光機電系統(tǒng)(MOEMS)。微光機電器件是MOEMS的基本組成單元，微制作技術(shù)是MOEMS的技術(shù)基礎(chǔ)。本論文在國家自然科學基金、國家863計劃、國家973計劃、吉林省科技發(fā)展計劃等資助下對MOEMS器件及其關(guān)鍵技術(shù)進行了研究探討。用于X射線波段的微小光學器件是MOEMS典型器件之一。在第二章X射線聚焦組合透鏡的研究中，針對X射線波段的

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