多級(jí)羅茨泵轉(zhuǎn)子的型線設(shè)計(jì)、加工及表面涂層研究.pdf

1、在新興的半導(dǎo)體工業(yè)中芯片、光學(xué)通訊元器件及平板顯示器等產(chǎn)品的生產(chǎn)過(guò)程中，無(wú)油分子泵、低溫泵等干式中高真空泵得到了廣泛的應(yīng)用。與這些干式中高真空泵相配合的前級(jí)低真空泵大多是傳統(tǒng)的油封式真空泵。為降低油污染，通常在中高真空泵與低真空泵之間串接入冷阱，但此方法已經(jīng)不能滿足真空環(huán)境潔凈度的要求了。因此，研制和開(kāi)發(fā)性能價(jià)格比高、壽命長(zhǎng)、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、抽氣效率高的干式真空泵成為當(dāng)前乃至今后相當(dāng)長(zhǎng)一個(gè)時(shí)期的真空科技人員迫切需要解決的問(wèn)題之一。在眾多的干式

2、真空泵中，多級(jí)羅茨型干式真空泵是備受半導(dǎo)體、光學(xué)器件等高科技行業(yè)青睞的一種容積式干式真空泵。
　　 本課題圍繞多級(jí)羅茨型干式真空泵的主要關(guān)鍵部件——羅茨轉(zhuǎn)子，作出以下具體工作：
　　 通過(guò)計(jì)算機(jī)模擬創(chuàng)成法，對(duì)三種常用羅茨轉(zhuǎn)子型線進(jìn)行了分析。然后在漸開(kāi)線型轉(zhuǎn)子型線設(shè)計(jì)的基礎(chǔ)上，設(shè)計(jì)了改進(jìn)圓弧型轉(zhuǎn)子型線。并通過(guò)容積利用系數(shù)和嚙合間隙的分布等方面對(duì)型線進(jìn)行分析和比較，最后由于改進(jìn)圓弧型轉(zhuǎn)子型線容積利用系數(shù)較大、嚙合間隙分布平穩(wěn)

3、等優(yōu)點(diǎn)，采用改進(jìn)圓弧型轉(zhuǎn)子型線作為多級(jí)羅茨干泵的轉(zhuǎn)子型線。
　　 對(duì)多級(jí)羅茨轉(zhuǎn)子的加工方法進(jìn)行探討。針對(duì)轉(zhuǎn)子的特殊型線，擬定出數(shù)控線切割加工、普通車床上加工和2.5軸數(shù)控銑床加工轉(zhuǎn)子的工藝方案。在普通車床上加工轉(zhuǎn)子時(shí)，設(shè)計(jì)了關(guān)鍵工序所應(yīng)用的偏心夾具，在2.5軸數(shù)控銑床上加工時(shí)，通過(guò)CATIA軟件模擬了轉(zhuǎn)子的加工過(guò)程。最后從可行性和加工經(jīng)濟(jì)性、精度等方面對(duì)三種方案進(jìn)行對(duì)比分析；
　　 對(duì)多級(jí)羅茨轉(zhuǎn)子的表面涂層工藝進(jìn)行了探索