多級羅茨泵轉子的型線設計、加工及表面涂層研究.pdf

1、在新興的半導體工業(yè)中芯片、光學通訊元器件及平板顯示器等產品的生產過程中，無油分子泵、低溫泵等干式中高真空泵得到了廣泛的應用。與這些干式中高真空泵相配合的前級低真空泵大多是傳統(tǒng)的油封式真空泵。為降低油污染，通常在中高真空泵與低真空泵之間串接入冷阱，但此方法已經不能滿足真空環(huán)境潔凈度的要求了。因此，研制和開發(fā)性能價格比高、壽命長、結構簡單、抽氣效率高的干式真空泵成為當前乃至今后相當長一個時期的真空科技人員迫切需要解決的問題之一。在眾多的干式

2、真空泵中，多級羅茨型干式真空泵是備受半導體、光學器件等高科技行業(yè)青睞的一種容積式干式真空泵。
　　 本課題圍繞多級羅茨型干式真空泵的主要關鍵部件——羅茨轉子，作出以下具體工作：
　　 通過計算機模擬創(chuàng)成法，對三種常用羅茨轉子型線進行了分析。然后在漸開線型轉子型線設計的基礎上，設計了改進圓弧型轉子型線。并通過容積利用系數和嚙合間隙的分布等方面對型線進行分析和比較，最后由于改進圓弧型轉子型線容積利用系數較大、嚙合間隙分布平穩(wěn)

3、等優(yōu)點，采用改進圓弧型轉子型線作為多級羅茨干泵的轉子型線。
　　 對多級羅茨轉子的加工方法進行探討。針對轉子的特殊型線，擬定出數控線切割加工、普通車床上加工和2.5軸數控銑床加工轉子的工藝方案。在普通車床上加工轉子時，設計了關鍵工序所應用的偏心夾具，在2.5軸數控銑床上加工時，通過CATIA軟件模擬了轉子的加工過程。最后從可行性和加工經濟性、精度等方面對三種方案進行對比分析；
　　 對多級羅茨轉子的表面涂層工藝進行了探索