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文檔簡介
1、微電子機械系統(tǒng)(MEMS)以微電子及微機械加工技術(shù)為依托,涉及微電子學、機械學、力學、自動控制學、材料科學等多種工程技術(shù)和學科。MEMS器件和系統(tǒng)具有體積小、重量輕、功耗低、可靠性高、性能優(yōu)良、功能強大、可批量生產(chǎn)等傳統(tǒng)傳感器無法比擬的優(yōu)點。 本文提出了一種基于MEMS技術(shù)的雙膜壓阻型濕度傳感器。它是利用旋涂在硅膜上的聚酰亞胺吸濕會發(fā)生膨脹,從而導致聚酰亞胺和硅膜構(gòu)成的雙膜結(jié)構(gòu)發(fā)生彎曲的原理進行工作的。雙膜結(jié)構(gòu)的彎曲可通過設置在
2、薄膜周邊的壓阻進行測量。壓阻與聚酰亞胺是分開的,這就從根本上阻止了吸濕部件與電子部件之間的耦合,因而所提出的傳感器能用于易燃易爆等惡劣環(huán)境下的濕度測量。 為了確定傳感器結(jié)構(gòu),以及優(yōu)化傳感器尺寸,本文利用軟件ANSYS對壓阻區(qū)應力進行了多次有限元模擬,并結(jié)合已有的壓阻區(qū)應力擬合公式,確定出傳感器的結(jié)構(gòu),材料參數(shù)和具體尺寸。 為了能夠更有效的測量壓阻區(qū)應力,進而測出相對濕度。本文對壓阻的連接方式、摻雜濃度、形狀、阻值、寬度、
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