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文檔簡介
1、在超精密測量和控制技術(shù)中，對測量精度提出了越來越高的要求，如尺寸精度1nm和角度1"。在測量系統(tǒng)為了獲得一個較高的精度必須分離位移和角度所產(chǎn)生的影響。在這篇文章中描述了一種新的光學(xué)系統(tǒng)來同時測量反射面的位移和角度。位移采用光學(xué)三角法來測量，角度采用光杠桿方法來測量。結(jié)果表明相對于傳統(tǒng)的光學(xué)測量方法這是一種重復(fù)性很高并且穩(wěn)定性很好的測量新方法。 在這個原理的基礎(chǔ)上，本文研制了一套專用高精度設(shè)備，用來自動測量陀螺中扭桿的扭轉(zhuǎn)剛度和滯
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