PDMS微型蠕動(dòng)泵性能的有限元分析.pdf

1、在微流控分析系統(tǒng)中，微流體驅(qū)動(dòng)技術(shù)是實(shí)現(xiàn)微流體控制的前提和基礎(chǔ)，雖然目前用于微流體驅(qū)動(dòng)的微泵有很多種，但要實(shí)現(xiàn)芯片上實(shí)驗(yàn)室這一目的，首先應(yīng)該使微泵和微流控器件實(shí)現(xiàn)集成化。 本文在計(jì)算機(jī)軟件平臺(tái)上對(duì)多層軟光刻技術(shù)制作的聚二甲基硅氧烷(PDMS)氣動(dòng)微泵進(jìn)行了研究。該微泵的優(yōu)點(diǎn)是結(jié)構(gòu)和制作方法簡(jiǎn)單、復(fù)制速度快、造價(jià)低、易于和其它微流控器件形成集成化。計(jì)算機(jī)輔助技術(shù)的應(yīng)用能夠大大減少新器件研制的費(fèi)用和時(shí)間，并能保證器件的設(shè)計(jì)合理。本文

2、的意義在于利用計(jì)算機(jī)模擬微泵的某些性能使我們對(duì)微泵的工作情況有更進(jìn)一步的了解，從而有利于微泵的優(yōu)化設(shè)計(jì)。 文章介紹了微泵的種類(lèi)及其發(fā)展，簡(jiǎn)要介紹了ANSYS作為有限元分析軟件在結(jié)構(gòu)、流體和耦合分析上的應(yīng)用；利用ANSYS軟件模擬了PDMS微型蠕動(dòng)泵的結(jié)構(gòu)，并且根據(jù)該軟件所提供的結(jié)構(gòu)分析模塊對(duì)微泵的PDMS氣動(dòng)薄膜進(jìn)行受力形變分析，得出了二維模型的薄膜在不同壓強(qiáng)下的形變程度及壓強(qiáng)一形變位移曲線；利用ANSYS軟件建立液體通道的三維