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1、柔性關(guān)節(jié)臂式坐標(biāo)測量機主要是由圓光柵編碼器與高精度機械結(jié)構(gòu)以及多功能軟件組成的測量儀器。然而由于柔性關(guān)節(jié)臂式坐標(biāo)測量機為多級串聯(lián)式極坐標(biāo)測量系統(tǒng),其誤差會逐級傳遞、積累和放大,致使其測量精度還無法滿足某些實際應(yīng)用的要求,因此必須進一步提到其測量精度。
由于圓光柵編碼器在實際測量時存在圓分度誤差,因此在不同編碼器測得角的組合下會使柔性坐標(biāo)測量機產(chǎn)生不同的測量誤差。如果能給出柔性坐標(biāo)測量機的測量誤差相對較小的區(qū)域——最佳測量區(qū),測
2、量時將被測件置于最佳測量區(qū)域內(nèi),即可實現(xiàn)低精度測量機高精度測量。
本文主要研究的內(nèi)容有以下幾個方面:
(1)求出光柵編碼器因安裝偏心而帶來的測角誤差,本文也稱圓分度誤差,給出其數(shù)學(xué)表達式及擬合出的圖形;
(2)實驗分析單個包含圓分度誤差的圓光柵編碼器對測量精度的影響,兩個、三個、六個圓光柵編碼器之間的組合匹配效應(yīng)以及測量誤差的分布區(qū)域,給出最佳測量區(qū)域;
(3)對所給出的最佳測量區(qū)域通過實際的測量
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