已閱讀1頁,還剩62頁未讀, 繼續(xù)免費(fèi)閱讀
版權(quán)說明:本文檔由用戶提供并上傳,收益歸屬內(nèi)容提供方,若內(nèi)容存在侵權(quán),請進(jìn)行舉報或認(rèn)領(lǐng)
文檔簡介
1、本文首先介紹了靜電感應(yīng)晶體管SIT作用機(jī)理,在此基礎(chǔ)上系統(tǒng)分析了材料參數(shù)、工藝參數(shù)和結(jié)構(gòu)參數(shù)與器件電性能的關(guān)系。對各種特性間的制約關(guān)系做了適度的參數(shù)調(diào)節(jié),對器件的版圖進(jìn)行了優(yōu)化調(diào)整,而且配合新版圖,設(shè)計了相應(yīng)的工藝方案,通過單項(xiàng)試驗(yàn),得到了相應(yīng)工藝的最佳條件;對于外延層必須達(dá)到的工藝參數(shù),提出了一系列減小或抑制外延過程中擴(kuò)散效應(yīng)和自摻雜效應(yīng)的工藝措施和方案,使外延層質(zhì)量有了明顯的提高;為了切斷柵極和源極(或陰極)之間在外延過程中形成的連
溫馨提示
- 1. 本站所有資源如無特殊說明,都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請下載最新的WinRAR軟件解壓。
- 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等,如果需要附件,請聯(lián)系上傳者。文件的所有權(quán)益歸上傳用戶所有。
- 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙,網(wǎng)頁內(nèi)容里面會有圖紙預(yù)覽,若沒有圖紙預(yù)覽就沒有圖紙。
- 4. 未經(jīng)權(quán)益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
- 5. 眾賞文庫僅提供信息存儲空間,僅對用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護(hù)處理,對用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯,并不能對任何下載內(nèi)容負(fù)責(zé)。
- 6. 下載文件中如有侵權(quán)或不適當(dāng)內(nèi)容,請與我們聯(lián)系,我們立即糾正。
- 7. 本站不保證下載資源的準(zhǔn)確性、安全性和完整性, 同時也不承擔(dān)用戶因使用這些下載資源對自己和他人造成任何形式的傷害或損失。
最新文檔
- 面向敏捷制造的制造執(zhí)行系統(tǒng)關(guān)鍵技術(shù)研究.pdf
- 再制造關(guān)鍵技術(shù)研究.pdf
- 制造單元構(gòu)建的關(guān)鍵技術(shù)研究.pdf
- 敏捷制造單元若干關(guān)鍵技術(shù)的研究.pdf
- 制造執(zhí)行系統(tǒng)關(guān)鍵技術(shù)研究.pdf
- 可重構(gòu)制造系統(tǒng)的關(guān)鍵技術(shù)研究.pdf
- 面向離散制造的協(xié)同制造執(zhí)行系統(tǒng)及其關(guān)鍵技術(shù)研究.pdf
- 融合制造執(zhí)行系統(tǒng)技術(shù)的云制造模式及其若干關(guān)鍵技術(shù)研究.pdf
- 可重構(gòu)制造系統(tǒng)關(guān)鍵技術(shù)研究.pdf
- 面向敏捷制造的PDM關(guān)鍵技術(shù)研究.pdf
- 毫米波器件關(guān)鍵制造技術(shù)研究.pdf
- 剮齒刀制造關(guān)鍵技術(shù)研究.pdf
- Web制造資源的語義發(fā)現(xiàn)關(guān)鍵技術(shù)研究.pdf
- 面向模具的制造執(zhí)行系統(tǒng)關(guān)鍵技術(shù)研究.pdf
- 體育信息主管(SID)的素質(zhì)研究.pdf
- 基于物聯(lián)網(wǎng)的離散制造車間制造數(shù)據(jù)管理關(guān)鍵技術(shù)的研究.pdf
- 高效節(jié)能連續(xù)油管關(guān)鍵制造技術(shù)研究.pdf
- 再制造企業(yè)PDM關(guān)鍵技術(shù)研究.pdf
- 制造企業(yè)項(xiàng)目管理關(guān)鍵技術(shù)研究.pdf
- 面向離散制造業(yè)的制造執(zhí)行系統(tǒng)若干關(guān)鍵技術(shù)研究.pdf
評論
0/150
提交評論