高精度微定位器結(jié)構(gòu)與控制研究.pdf_第1頁(yè)
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文檔簡(jiǎn)介

1、本文對(duì)驅(qū)動(dòng)元件和控制電路兩個(gè)部分進(jìn)行了簡(jiǎn)單的分析討論,重點(diǎn)研究了微動(dòng)平臺(tái)的分析設(shè)計(jì),主要工作包括:(1)柔性鉸鏈單元的力學(xué)模型的建立與解析法分析,壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)元件的分類以及逆壓電效應(yīng)的分析.(2)對(duì)傳統(tǒng)的基于柔性鉸鏈的柔性機(jī)構(gòu)和一種新的基于柔性懸臂梁的柔性機(jī)構(gòu)進(jìn)行了對(duì)比分析.采用正交試驗(yàn)的方法對(duì)基于柔性懸臂梁的一維柔性結(jié)構(gòu)進(jìn)行了參數(shù)優(yōu)化設(shè)計(jì)以獲得最大的輸出位移;對(duì)最優(yōu)結(jié)構(gòu)進(jìn)行了強(qiáng)度校核、模態(tài)分析.(3)在一維微動(dòng)平臺(tái)的基礎(chǔ)上,對(duì)疊加式、

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