聲光調(diào)制在激光光強(qiáng)控制中的理論與應(yīng)用.pdf_第1頁(yè)
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1、該論文詳細(xì)討論了聲光調(diào)制器(AOM)在激光光強(qiáng)控制中的理論和應(yīng)用,把AOM用于二元光學(xué)掩模制造的關(guān)鍵技術(shù)即激光直接寫(xiě)入系統(tǒng)中的曝光光功率控制.通過(guò)對(duì)聲光互作用機(jī)理的深入研究,設(shè)計(jì)出了適用于該激光直接寫(xiě)入系統(tǒng)的以氧化碲晶體(TeO<,2>)作為聲光互作用介質(zhì)的聲光調(diào)制器,應(yīng)用該調(diào)制器可實(shí)現(xiàn)曝光光功率的連續(xù)調(diào)節(jié).同時(shí)論文設(shè)計(jì)了光功率閉環(huán)控制系統(tǒng),采用采樣+1級(jí)衍射光控制+1級(jí)的方式.使得系統(tǒng)在激光器有較大的噪聲輸出(約20﹪~30﹪)時(shí),也

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