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文檔簡介
1、SiC材料由于具有大的禁帶寬度,高的電子飽和速度,高的臨界擊穿電場以及高的熱導(dǎo)率等性能,在高溫,抗輻照,高功率等工作條件下具有明顯的優(yōu)勢,成為近年來半導(dǎo)體領(lǐng)域研究的熱點,并且在交通,通信,能源和國防領(lǐng)域中有廣闊的應(yīng)用前景。但是目前,SiC MESFET的優(yōu)勢還沒有充分發(fā)揮,主要原因之一是存在于SiC MESFET表面的陷阱引起電流的不穩(wěn)定性。為了解決或者削弱表面陷阱對器件性能的影響,學(xué)者們提出了多種器件結(jié)構(gòu),諸如埋柵、埋溝和埋柵-埋溝等
2、結(jié)構(gòu),其中以埋柵-埋溝結(jié)構(gòu)取得電學(xué)性能最佳。埋柵-埋溝4H-SiC MESFET新型結(jié)構(gòu)器件是在傳統(tǒng)的4H-SiC MESFET器件結(jié)構(gòu)上利用工藝手段在其導(dǎo)電溝道上部加入一層n-buffer層,并將柵極底部埋入該n-buffer層中。它可以減少本來存在于MESFET器件溝道內(nèi)部由表面陷阱所引起的耗盡層所帶來的影響。 本研究利用ISE軟件建立了埋柵-埋溝4H-SiC MESFET模型,對埋柵-埋溝4H-SiC MESFET進(jìn)行結(jié)構(gòu)
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